第1159章 首片国产芯！从零到一

心底那点残留的、她自己都没敢承认的小疙瘩瞬间烟消云散，化作一股滚烫的清流涌向四肢百骸！喜悦毫无遮掩地在眼底炸开，明亮的眼睛里仿佛重新落满了星星。

但她随即反应过来，这家伙居然这么直接地戳破了自己的小心思！

“谁…谁希罕被锁死…谁担心你来着…”她瞬间红了脸，恼羞成怒地一把拍掉苏定平还捏着自己脸蛋的手，飞快地转过身，仿佛要检查机器散热口，留给苏定平一个染上浓重红霞的白皙后颈和一截不断微微晃动的马尾辫。

但那份属于少女的、轻松明快的气息，瞬间就充盈了这个被沉重技术压力包裹的冰冷空间。

有了TRATLAS-2000这具“骨架”带来的底层结构和运行逻辑参考，龙芯实验室如同注入了强心针！

苏定平带领团队彻底放弃了“修文物”的想法。

那台古董被拆解得七零八落，只保留其最核心的光路成像原理参考和控制时序逻辑等“基因”。

所有能替换的部分——激光器、工作台、聚焦镜组、温控系统、数据传输接口…全部使用龙夏当前能获得的最好材料，重新设计、重新制造！以“昆仑胎玉”做基座，以“蚀影”胶做载体。

“蚀影计划”浸没式水膜部分的关键技术被艰难地嫁接改造上去！

呕心沥血！焚膏继晷！

在秦明珠送来那台“废铁”的两个月零七天后的一个深夜，龙芯实验室第一台完全自主集成组装、代号“伏羲一号”的DUV浸没式光刻原型机，在巨大的嗡鸣声和众人近乎窒息的目光中，缓缓启动了！

一块极其纯净的“昆仑胎玉”圆片上均匀涂抹着最新迭代的“蚀影-7B”型光刻胶。

它被小心翼翼地放置在改进过的高精度工作台上。激光亮起，水流在物镜和晶圆之间形成稳定的液体界面折射层！掩模版上的图形被投影、缩小、聚焦！

这是全新的、龙夏自己的光刻机第一次在真正意义上的“试生产”！

光刻…曝光完成！显影！蚀刻！离子注入！退火…

当第一枚龙芯实验室首次依靠自己的光刻设备生产出的集成芯片被放入测试台。屏幕亮起！基础逻辑门信号正常！晶体管参数虽然极其不稳定、极其粗糙，甚至跑分还比不上一枚市面上常见的、几十年前生产的250nm商用处理器！

“报告！主频…0。65GHz！功耗…远高于标准！结构…勉强相当于180-200nm制程水平…”袁涛看着屏幕上跳动出来的惨不忍睹的性能参数，声音有些发涩。

整个实验室再次陷入了一片死寂。

没有欢呼。没有激动。

只有一种终于推开了一扇门、却发现门后是陡峭悬崖的冰冷现实感。极限250nm？在拥有了顶级硅片、顶级光刻胶后，第一台“自主”光刻机实际产出的芯片，连250nm的现代及格线都未摸到！只相当于古董级别的工艺！

“250nm够吗？”

苏定平的声音在寂静中突兀地响起，冰冷坚硬如矿石。

“不够！远远不够！

这只是起点！不是终点！我们不是为了造出落后几十年的电子垃圾！我们需要能驱动电磁炮进行超远程精确制导的核心！

需要能支撑烛龙稳定运行到极限输出的运算模块！需要能打通南天门计划的信息高速公路基石！我们要的——是7nm！”

他一步踏上控制台前的台阶，目光如同燃烧的星火扫过每一个人。

“从今天起，目标！榨干伏羲一号的极限！目标！7nm！”

目标7nm！口号惊天动地，现实是血肉模糊的惨烈攀登！

“伏羲一号”原始设计和部件的粗糙，就如同拖在脚下的沉重镣铐。尝试提升精度？核心光源功率不足、稳定性差！镜头光路系统像差难以修正！

浸没式水膜系统流速控制不稳定极易产生气泡造成曝光缺陷！工作台移动精度只能达到勉强满足180nm制程要求的水准！

一次次的优化调校失败！

一批批昂贵的“昆仑胎玉”硅片变成废料堆里的焦黑残骸！

一瓶瓶珍稀的“蚀影”胶水被无效消耗！

时间像流水一样过去！

“烛龙”反应堆的工期倒计时如同催命符悬在头顶！

焦躁！绝望！无能为力的负面情绪如同一头巨大的阴影怪兽在实验室里弥漫。再这样下去，别说7nm，连稳定量产200nm都可能遥遥无期！时间要被拖死了！

又是一个深夜，会议室烟雾缭绕，人人眼窝深陷。

袁涛，这个头发已经因熬夜过度而变得稀疏的技术骨干，狠狠掐掉了虚拟烟头，眼睛通红地站起来。

“苏总！常规优化走不通了！时间根本不给机会！我们…必须走险棋！用多重曝光！用超常规的工艺路径去迭高精度！”

满室皆惊！

“多重曝光？！”

李老花白的眉毛瞬间拧成了疙瘩。

“理论上是可行！但那是要在完美设备上才能实施的极限微操！我们现在这台伏羲一号…自己走直线都打飘！用它迭曝？层数一多，任何一丁点套刻对准偏差，都会层层放大！误差累积下来，就是一场灾难！良率…会惨不忍睹！”

“我们没时间打磨设备了！”

袁涛的声音嘶哑，带着破釜沉舟的决绝。

“就用笨办法！堆层数！

一次对准误差可能超15nm，那我们就牺牲更大范围，用更繁琐的五层、甚至六层曝光！用设计冗余把线路加粗加宽！硬生生把平均套刻误差压下去！

靠工艺复杂性去逼近7nm的物理线宽！苏总，这是目前我们唯一可能够得着的路了！风险大我知道！失败几率超过九成我也知道！可总比现在原地等死强！”

所有目光都聚焦在沉默的苏定平身上。会议室的空气粘稠得如同铅汞。

苏定平看着投影屏上那张被标记为五层光刻掩模版、线条堆迭得如同乱麻、结构臃肿得如同拼凑补丁般的7nm测试芯片结构图。

那张图，就像个绝望者病急乱投医、强行制造出来的怪物！丑陋！低效！违背常规设计的简洁和高效美学！

但他更知道袁涛没说错。没有时间了！

“干！”

苏定平猛地一掌拍在桌子上，合金桌面发出一声沉闷的呻吟，震得虚拟烟灰缸里的像素都跳了一下。

他的声音斩钉截铁。

“立刻组建迭影攻坚组！袁涛任现场技术总监！按照五层曝光方案实施！哪怕成功率只有万分之一！只要还有一丝可能造出符合7nm节点特征尺寸的晶体管！

这条路就给我走下去！失败？废品？烧钱？算我的！所有责任后果我一人承担！目标只有一个——打通这条带血的路径！给烛龙堆芯！送去能搏动的心！”

接下来的日子，龙芯实验室如同进入了某种惨烈的、自我消耗的绞肉机模式。

每一次五层曝光，都是对设备稳定性、工艺精密度、工程师神经极限的一次地狱级考验！

涂胶…对准…曝光！

再换掩模…再涂底层抗反射涂层…再对准…再曝光！

如此反复五次！

实验室里弥漫着一种近乎疯狂的气息。操作员的眼睛几乎长在对准仪的视窗上，每一次微调都屏住呼吸，手心全是冷汗。

空气中充满了各种光刻胶溶剂、显影液以及过度紧张散发出的汗味。机器报警声如同丧钟，几乎就没有间断过。

第一批五层套刻试产后，郭雪云拿着刚出炉的良率报告单，手指都在微微颤抖。

她走到彻夜未眠、眼窝深陷的苏定平面前，声音带着哭腔。

“苏…苏总…”

报告单上，那个用加粗红字标出的数字触目惊心。

【良率。14。7%】！

国际先进EUV光刻机制造7nm芯片的良率基准线是多少？初期也超过70%！量产稳定后甚至达到95%！

而龙芯的五层迭影工艺，14。7%！！

这意味着生产一百枚芯片，只有不到15片能用！其中能达到设计性能要求的，更是百中无一！剩下的85。3%，全是废片！全是烧掉的真金白银！还有无法

估量的研发资源和时间！

昂贵的“昆仑胎玉”硅片？

珍稀优化过的“蚀影-7B”光刻胶？

天价的特种蚀刻药剂？

如同流水般消耗进那台轰鸣着、仿佛永不餍足的设备里，然后变成一堆堆只能用粉碎机处理的电子垃圾！

实验室门口，一名财务处派来的会计天天抱着成本核算单捶胸顿足。

“亏！血亏！！苏总啊！您算算！每造出一片合格的芯片，成本是市场采购价格的十倍！

二十倍！还不算损耗！！我们…我们这是点着钱堆在搞自杀式冲锋啊！”

五层曝光工艺下的“伏羲一号”生产区域，如同一个张开血盆大口的黑洞，无情地吞噬着这个尚未完全成熟的实验室每一份宝贵资源和每一丝残存的信心。

龙夏芯片自主征途，在刚刚看到了“光”之后，再次一头栽入了一个名为“多重曝光地狱”的深渊，挣扎在亏损和无果的窒息边缘！

“钱堆在烧！”

财务老王那带着哭腔的控诉，像刀子一样刻在实验室冰冷的金属墙壁上，也狠狠扎在每个人的心上。

五层曝光的绞肉机产线，在疯狂地咀嚼着“昆仑胎玉”和“蚀影”胶水的同时，也正在把龙芯实验室本就宝贵的时间和龙夏部落举国支持的信心，一点点嚼成碎末！

夜复一夜，苏定平像块没有知觉的磐石杵在那台庞大、嘶吼着制造昂贵垃圾的“伏羲一号”旁，屏幕上那个猩红的“14。7%”良率数字就是悬在他头顶的达摩克利斯之剑。冰冷的控制台面板映出他深陷的眼窝和近乎燃烧的瞳孔。

“堵死了…”他沙哑的声音如同砂纸摩擦，在沉寂的深夜实验室里异常清晰。

“28nm就是极限！用这种堆迭僵尸一样堆出来的7nm怪物，良率比大马路上捡到金条的几率还低！再这么硬迭下去，我们就是把龙夏国库搬空，也喂不饱这台怪物！更别说造烛龙的心脏！”

他猛地一拳砸在控制面板边缘，合金发出“哐”的一声闷响！

“出路只有一条！把西方的终极锁链——EUV光刻机！造出来！不是买，不是偷，是堂堂正正！从我们这片土地上，把它造出来！造出真正属于自己的，13。5nm极紫外光！造出能驾驭那毁灭性光源的精密心脏！”

他的声音陡然拔高，带着一股不容置疑的决绝和几近狰狞的气势。

“放弃幻想！停掉所有的五层迭影试验！伏羲一号保留！作为后期基础光刻步骤的冗余备份！从现在起——追光计划启动！目标只有一个！EUV！给我造出13。5nm的光！”

命令如同飓风，瞬间席卷了死气沉沉又弥漫着焦躁绝望的实验室。惊愕之后，是几乎压倒一切的悲观和难以置信！

“E…

EUV？苏总！”

袁涛像是被踩了尾巴的猫，声音都变了调，他指着“伏羲一号”——那台好不容易拼凑起来只能搞200nm古董级别工艺、运行起来浑身零件都在哀嚎的光刻机基础。

“咱这玩意儿连DUV都没玩明白！EUV？！

这等于让刚学会走路的娃娃去参加珠峰登顶速攀大赛！还要破世界纪录！

那根本不是一个维度的东西！”

“苏总，光是那个光源就要了命啊！”

负责光源预研的工程师哭丧着脸。

“13。5nm的极紫外！

这玩意压根没法用普通透镜聚焦生成！

它需要超高功率的驱动！需要精准控制每秒几万次的锡微滴喷射！再用激光脉冲去轰打！让锡离子产生等离子体发出特定波段的光…光是其中任何一项都是地狱级难度！就我们手里的激光器，最高功率的型号连根毛都够不着！”

实验室里一片死寂。

所有人都知道EUV代表着人类工业皇冠上最璀璨也是最遥远的那颗星辰。

它的制造难度，堪比登天炼狱！雄鹰部落倾举国尖端企业之力，堆砌了堆积如山的资金和无法想象的天才工程师团队，耗费了整整二十年才勉强搞定！龙芯实验室？满打满算就这点家底！还是在被全面封锁的情况下！