第332章 我们就差这张牌了！

其他专家固然没有办法从专业的角度听懂其中的难度，但光是凭借直觉就能明白这有多难了。

用一个拥有近乎无穷解空间的、典型的NP-hard问题，这些形容词和最后的名词，听起来就觉得困难。

近乎无穷解，在数学知识大约等于数学系大一大二学生的工业专家们看来，和近乎无法求解没有区别。

坐在魏哲边上的专家，看他的脸色也能看出端倪，看魏哲一副惊呆的样子，就知道林燃又做了什么惊天动地的结果出来。

梁孟松举手，林燃点了点头：“梁工，你说。”

“林总，”梁孟松的语气很沉重，“您从算法层面为我们提供了解决方案，现在我们从理论上能做到。

但是在现实世界中要到，我们需要有精度足够高的模板，有了这样的模板，我们才能用NIL光刻机去印所谓的超构透镜，才能拥有传统路线光刻机所需的镜头。

我解释一下，我们要制造的，是带有5纳米级别结构的超构透镜母版模板。

而要制造这个母版，我们需要一台电子束写入机。”

“这东西，就像一支笔。”梁孟松努力用最简单的语言解释，“光刻机，像一台巨大的印刷机，可以把模板上的图案，一秒钟复印几十次。

而电子束写入机，就是那支用来制作印刷母版的、最原始的笔。

你的笔有多细，决定了你的母版有多精细。

而我们，我们国产的、最先进的电子束写入机，能稳定刻画的最小线宽，是65纳米。

用65纳米的笔，去雕刻5纳米的图案，这是不可能的。”

多电子束写入机是一种用于高精度图案转移的先进半导体制造设备，通过使用多个电子束同时在晶圆上写入图案。

梁孟松说的更常见一点的名词叫掩膜版，光透过掩膜版在硅片上印上图案，掩膜版的精度决定了硅片上集成电路的精度。

用来制作掩膜版的机器就叫多电子束写入机，它一次只能制作一块掩膜版，适用于小批量、高复杂性的图案制造需求。

总结来说，没有最先进的电子束写入机，就无法制造出用于生产最先进芯片的掩膜版。

它是整个半导体制造产业链的“源头”，其战略重要性，丝毫不亚于EUV光刻机本身。

全球最先进的、用于EUV级别的多电子束掩膜写入机，其市场被奥地利的IMS

Nanofabrication公司，现已被英特尔绝对控股。

另一家霓虹公司NuFlare

Technology也在研发，但市场份额和技术应用广度上都有差距，这是东芝的子公司。

国内的申海微电子旗下也有子公司在负责研发，但精度是90nm到65nm之间。

无论是哪个技术路线的光刻机，都需要有掩膜版，在母版上面去印刷。

会议室里，刚刚因数学突破而燃起的乐观气氛，瞬间被浇灭了。

大家都是业内人士，很清楚梁孟松说的是事实。

没有最顶尖的笔，再完美的设计图也只是一张废纸。

林燃说：“这不是问题，我们虽然没有最先进的笔，但是有次一级的笔。”

林燃看向台下的杨德人说道：“杨院士，你来说说吧。”

随即把舞台交给杨院士。

杨德人站起来，自豪道：“诸位，很荣幸的告诉各位，就在三个月前，由我们浙大的余杭所牵头，联合国内相关单位，历经十余年年攻关的、我国第一台具备商业化能力的高精度多电子束写入机，已经完成了最终测试。

我们以华国古代最伟大的书法家之名，将其命名为——羲之。”

（我国首台6nm的电子束光刻机-羲之，来自HZ市政府官网，不知道为啥国内媒体没咋报道，完全没热度）

“羲之和传统的光刻机不同。”杨院士接着说道：“它不需要掩膜版，而是通过计算机控制，用一道能量极高的、被聚焦到极致的电子束，直接在硅基材料上书写电路。

因此，它可以随时修改设计，反复调试，特别适合芯片研发初期的验证，以及制造像超构透镜母版这样、独一无二的超高精度元件。”

最后杨院士深吸了一口气，报出了那两个让所有人屏息的数字：“它的性能指标，最小稳定线宽为8纳米，电子束定位精

度为0.6纳米。”

“这不可能！定位精度0.6纳米？这精度是不是太夸张了？”

“0.6纳米？比老美的精度还要更高？”

“那岂不是意味着我们能造0.6纳米的透镜？卧槽，这回是光源跟不上镜头了。”

杨院士的脸上是掩饰不住的自豪，这可是我们浙大搞的！

“为了让大家理解，我继续用笔来做比喻。

8纳米线宽，是羲之这支笔，在宣纸上能写出的稳定清晰的那个笔锋。

而0.6纳米精度，则是这支笔的笔尖，本身是由几根更加纤细的、几乎达到原子尺度的狼毫组成的。

你必须拥有一根足够锐利的笔尖，才有可能去驾驭和书写出极细的笔锋。”

林燃直视梁孟松：“梁工程师，我想你应该想到了。”

此时的梁孟松已经两眼放光：“用这支8纳米的笔，我们确实没有办法画出5纳米的母版。

8纳米的极限，意味着我们无法稳定、大规模地制造出完美的5纳米结构。

良率会是一个灾难。

这可是一次性要画超过10的14次方个天线结构，这确实做不到。

但是我们可以用这支笔，去设计一套更聪明的笔法。

我们能用DUV光刻机通过多重曝光技术，造出远比它极限更低的电路尺寸。

同样的我们可以借鉴在晶圆制造上已经成熟的自对准四重曝光的思路，把它反过来，应用在母版制造上！

我们用羲之，先刻画出一个16纳米周期的基础图案，然后通过多次、精准的沉积和蚀刻，在母版上，自我生长、复制出周期为4纳米的结构！

这在工艺上，极其复杂，但在理论上，是完全可行的！”

林燃鼓掌道：“没错，数学层面的问题我帮你们已经解决了，母版的制造需要靠各位的努力，它绝对不会容易，但也绝对能够实现。

最后一步的刻录，有从佳能进口的NIL光刻机来帮我们做到！

一旦成功，依托华国的制造能力，我们将激活史无前例的7nm制程。

这段时间霓虹给我们转让的，已经充分成熟的28nm制程技术，加上这套超构透镜，我们足以攻克稳定的14nm光刻机。

而结合国内已经充分成熟的双重曝光技术，7nm的制程也不在话下。

如果不考虑良品率，结合四重曝光，极限是3.5nm。

已经离国外最先进的2nm只有一步之遥了。”

林燃的话让台下的专家们响起了雷鸣般的掌声，过去谁敢想，现在3.5nm的制程我们都能摸一摸了。

这可不是什么过去追求的去美化半导体生产线，而是全国产的3.5nm半导体生产线。

同时也代表着，一旦攻克了EUV光刻机所需的极紫外线光源，华国和国外最先进的2nm在光刻机领域已经没有差距了。

这意味着什么？

芯片战争的彻底失败，阿美莉卡在过去近十年里，想尽一切办法、联合所有盟友、旨在扼杀华国高科技产业的芯幕彻底被撕毁，遭到了无可挽回的失败。

纳瓦罗以为给华国的是陷阱，实际上是最后一张牌，华国手上拿着的是2346，就等着你送一张5过去，阿美莉卡人亲手将这张5，当成一张废牌，扔到了牌桌中央。

阿美莉卡人亲手将这张黑桃5，当成一张废牌，扔到了牌桌中央。

这也意味着未来，不会再有盟友配合阿美莉卡去对华国做什么技术围堵，这是把自己的产业拱手送给华国。

技术上的南北战争结束，长期以来，全球被划分为掌握核心技术的技术北方（以阿美莉卡为首）和负责应用/制造的“技术南方”。

华国拥有3nm光刻机，意味着它已经从“南方”彻底毕业，成为了“北方”阵营里一个新的、强大的、且不受旧国王控制的独立王国。

从产业上说，一旦拥有同等级别的制造能力，华国将立刻成为全球第三个、也是市场规模最大的高端芯片代工中心。

不仅华国本土科技产业会迎来爆发，一旦获得了无穷无尽的、廉价的、最先进的国产芯片供应，华国在人工智能、超级计算、生物科技、自动驾驶等所有依赖尖端算力的领域，都将迎来一次爆炸性的增长。

成本的

下降和算力的解放，将催生出无数新的应用和商业模式。

在这样的世界里，所有国家都将不得不重新思考自己的定位和未来。

在座的专家学者们未必能想到那么多的意义，但他们绝对明白历经千辛万苦后，这对华国有多难，越难意味着越重要，意味着最后的收获越大。

本来因为无法回家过年而心理上的沮丧一扫而空，现在大家都踌躇满志，就等着开干了。

霓虹栃木县宇都宫市佳能光学技术研究所

“小川先生，我理解你们的难处，但是，商业合同就是契约，我们必须尊重契约精神。”

会议室里，华国进口团队的负责人刘主任，脸上挂着微笑，但语气却不容置疑。

他面前的佳能副总裁，全球营销负责人小川和人满脸难色。

“刘主任，”小川和人擦着额头的汗：“我们真的已经在尽最大努力了。

我们的FPA-1200NZ2C生产线，已经是三班倒，24小时不停机。

但您上个月，又追加了二十台的紧急订单，而且要求在明年四季度前全部交付，这在物理上，是不可能的。”

“没有什么是不可能的，小川先生。”刘主任从容地从公文包里，拿出了另一份文件：“这是我们最新的补充协议，我们愿意，在原有合同价的基础上，上浮30%，作为‘产能加急费’。

并且，所有款项，在协议签订后，48小时内，以美元，一次性付清。”

华国给自己预计的公布时间点是2026年的四季度，目前手上一共有5台来自佳能的FPA-1200NZ2C

NIL光刻机。

这也是佳能所有的存货，其中还包括从海力士退货回来的一台，全部都被运到了申海。

NIL光刻机的生产制造相关技术都教给了华国，能教的都教了。

只是华国还是秉持着先进口再自己慢慢摸索生产的原则。

华国的目标就是，在自己能生产出同级别的NIL光刻机前，我从佳能获得的产能要足够我撑到那个时候。

对佳能来说，被华盛顿和东京按着头出售自己的灵魂和未来，佳能觉得屈辱，因为这笔交易不但是卖产品，还是卖技术。

但从华国来的美元还是很香的。

至少今年佳能的财报会非常漂亮。

让一直迟迟无法盈利，无法并入财报的NIL光刻机项目能够带来大幅盈利，整个资本市场都会对佳能另眼相看，如果能获得哪怕只是一部分ASML的市场，佳能的市值也起码能翻倍。

海力士和铠侠这两家用NIL光刻机来造存储芯片的厂商，反馈都不乐观，其中海力士甚至还退了一台给佳能。

只有华国不但不退货，甚至在一到货就不断催他们出货，而且是有多少要多少。

小川和人的眼睛，瞬间睁大了。

上浮30%，并且是用现金一次性付清，这对于任何一家上市公司来说，都是无法拒绝的诱惑。

同时小川和人内心感慨道，还是华国人识货，高丽人太不识货了。

“另外，”刘主任继续加码，“关于配套的纳米压印树脂和模板基板，我们知道贵公司的阿美莉卡供应商那边，程序繁琐，没有关系。我们未来半年的需求量，是这个数，”他伸出五根手指，“五百吨，我们同样愿意支付20%的溢价。

贵公司只需要下订单，所有的物流、仓储，我们自己的运输集团会派专机来解决。

你们只需要，把货备好就行。”

小川和人彻底说不出话了。

这已经不是商业采购了，这是一种近乎于掠夺的、不计成本的扫货。

华国的“识货”固然让他感到振奋，但他也无法理解，为什么华国人，会为了NIL这种尚未经过大规模量产验证的技术，就投入如此疯狂的赌注。

他作为商人的本能告诉他，面对这样的“豪客”，他唯一需要做的，就是点头，然后让财务部门准备好接收一笔天文数字的现金。

但他内心还是觉得惴惴不安，总感觉有哪里不对劲。

我们和海力士、铠侠已经研究这么多年，在基础的存储芯片上都没办法解决良率的问题，难道华国能解决？

他们应该都还没有生产测试，哪里来的信心？

小川和人内心有无数的疑惑。