第594章【紫星光刻，准备曝光它吧】

极紫外光刻技术的另一大瓶颈无疑就是光刻胶了。

目前的行业现状是，半导体材料的供应都是十分集中的，而光刻胶技术算是全球集中度最高，并且壁垒也是最高的材料，被日本和北美合计占领了95%的市场份额。

三星电子半导体固然牛气哄哄，也却是很有实力，但实际上得看日本人的脸色，如果日本的半导体材料商在材料这块卡一下，三星半导体就要趴窝。

休息室里正在进行临时的技术交流探讨，一位负责光刻胶技术的工程师有条不紊的说道：“在248纳米和193纳米的光刻中，主流有超过二十年之久都是使用有机化学放大光刻胶CAR，这是一种用来制作图案成型的光敏聚合物。”

在极紫外光刻机下，光子专机CAR光刻胶并产生光酸，之后CAR光刻胶在曝光后的过程中进行光酸催化反应，进而产生光刻图案。

原理就是这么个原理。

那名工程师继续道：“把CAR光刻胶用于极紫外光刻技术上，但因为光源能量大幅度增加了，之前的实操结果显示会出现不同且复杂的结果，进而影响芯片的良品率。”

罗晟点点头，说道：“到了EUV技术节点，这个不单单是我们的问题，竞争者也一样会遇到类似问题，还是得开拓新思路，想来当前业界其它的半导体设备、材料商都会想尽各种方式，或者提出新的光刻胶技术解决方案，让极紫外光刻技术可以持续使用，从而延续摩尔定律的寿命。”

刚刚那名工程师再次说道：“新思路方面，我们项目组有多个团队针对新的EUV光刻胶在进行多种方向的尝试，例如仍然是液态式的金属氧化物光刻胶，还有干式的光刻胶等方向的研发。”

罗晟想了想沉声道：“不能我们自己闷声干，新的EUV光刻胶技术最好是百家争鸣，利用养蛊策略养出一个光刻胶领域的ASML来。”

听到这话的李淳胜旋即搭了一句：“那得付出好几倍的成本。”

罗晟摊手道：“在半导体这一块已经投入了这么多，除了硬着头皮往死里氪，没有退路可言。”

说到这里旋即看向李淳胜问道：“对了，半导体光刻胶这一块国内现在有哪些供应商？”

李淳胜：“有好几家，只不过他们现有的技术和市场份额跟国际顶尖水平相比差的不是一丁半点，相对来说比较知名的几家光刻胶厂商分别科华、晶锐、南达光电、容达感光、申城新阳这几家。光刻胶研究这一块，蔚蓝海岸实验室都跟着几家厂商有技术上的交流。”

罗晟点点头没有多说什么，旋即看向刚刚那位光刻胶项目负责人问道：“新思路方面的具体进展有哪些？”

“项目组正在开展负性光刻胶课题论证研究，其分子大小是CAR有机光刻胶的五分之一，重点是光吸收率可以达到CAR的四到五倍，超算验证结果显示能更精密、更准确的让电路图成型。”

罗晟从内部数据库查看了一下，自顾自地点头道：“干式光刻胶技术可以重点投入，这种全新的EUV干式光刻胶技术，取代传统的CAR光刻胶对于半导体工艺的演进大有可为，可能会是一个巨大的突破点。”

这个新技术的优势在于提升极紫外光刻技术的敏锐度和分辨率，更可以减少原本五到十倍的光刻胶使用量，在成本节约上带来显著成果。

新的技术节点下诞生的芯片，成本是很高昂的，尤其是前期阶段。

在当下业内以有机化学放大光刻胶CAR和无机光刻胶n-CAR为主导下，都是采用液态光刻胶技术，研究新型EUV光刻胶技术不只是蔚蓝海岸实验室，海外的

厂商都在积极推进新技术的开发，毕竟极紫外光刻技术是大趋势，这是不会改变的事实了。

但只有蔚蓝海岸实验室的新型EUV光刻胶技术是基于干式沉淀的技术，这一点算是独创技术。

目前主流的光刻胶技术是CAR，也即是把液态光刻胶搭配涂布机设备旋涂到晶圆上，在使用溶剂曝光后再去除掉。

而蔚蓝海岸实验室的这种新式技术有别于传统液态光刻胶涂布方式，改在腔体中进行化学反应，让干式光刻胶在化学气相沉积或原子层沉积里制造，之后再以刻蚀工艺去除掉。

这样的优点在于可以提升成像的敏感度、分辨率和极紫外光刻曝光的分辨率。

更重要的是可以改善工艺晶圆的成本，这些优势都是更先进的工艺的体现。

罗晟关闭数据面板，把工作电脑放一边，说道：“只要干式光刻胶技术搞定了，我们就可以与日本设备材料产生形成两个阵营了，可以冲破既有的半导体技术规则，这非常关键，整个产业也会带来深远的改变。没什么好说的了，我们已经投入了这么多，除了胜利，没有第二条路可以选择。”

在场的每一个人都默默的点头，也是战意勃发，眼下的突破给了团队巨大的信心。

的确是除了胜利，没有第二条路可以选择了，也相信必然取得胜利。

临时的会议探讨结束了，罗晟亲自拍板给蔚蓝海岸实验的光刻胶项目组再额外拨款了4.5亿元人民币，加快研发进度，多线并行。

离开蔚蓝海岸实验室，半小时后罗晟把姚建鸿叫到了他的办公室。

“紫星光刻机该问世了，一旦正式曝光出去不单单是国产集成电路领域会掀起滔天波澜，全球集成电路产业都会掀起剧烈的震荡，行业格局进入重新洗牌的局面，业内局势动荡是必然的。”

罗晟互摸着手指如是说道，顿了片刻又说：“光刻设备的突破自然是前所未有的胜利，但对于整个半导体产业链来说，高端区我们还是没有打通，60%的技术环节仍然受制于人，但蔚蓝海岸的产品线不能断，简而言之我们还是需要外国的芯片供应一段时间。”

现在是花钱如流水都不能有效的形容了，蔚蓝海岸的收入不能出现断崖式的崩盘。

ACC游戏主机、Azure智能手机、ieP平板，以及另一大即将展开的副业PC业务都要创造稳定的收入来源，以此保证利润来维持目前公司的造血循环的稳定。

姚建鸿低头沉思了片刻，旋即看向罗晟道：“你的意思是……”

罗晟与之对视：“我们现在的实际情况是，还有60%的技术环节被卡着的，想要完全突破可能要再等个三五年后，这是客观的事实，技术研究突破还带有一定的偶然性，不是说我砸了多少钱钱进去，投入了多少就一定有产出的。”

姚建鸿点点头，但并没有接话，而是继续听着。

罗晟补充道：“虚虚实实，真真假假，紫星光刻机的突破是事实，这是我们最大的谈判筹码所在，能唬住老外。”

说到这里，罗晟不禁惬意的一笑，姚建鸿稍加思索，细品了一下罗晟的这番话，不消片刻便豁然开朗。

“罗总，你的意思是，对外宣布不仅仅是极紫外光刻机技术突破了，而是半导体全产业链的各大关键技术环节均已突破，或者突破只是时间问题，实际上并没有全都突破，但因为连极紫外光刻机都搞定了，这就会给外人一种假象，其他技术环节也基本打通了，从而获得谈判主导权。”

罗晟笑而不语，但点了点头表示认可。

站在竞争者的角度来看待这个问题，技

术封禁既然已经对罗晟没有太多的作用了，那么继续封禁也就没有多大的意义了。

其实这有赌的成分在里面，赌的就是那些国际半导体厂商相信罗晟的国产半导体全产业链计划已经成功的突破了技术封锁。

不过看似赌的成分，实际上是有内在逻辑可循的。

国际上的那些厂商也是要吃饭的，眼看着市场份额也即将不保，原本牢不可破的盟约也必将会因为利益的分歧而出现裂缝。

连极紫外光刻机都被搞出来了，还小幅度领先了ASML，这是客观的事实，那对国际上的那些半导体厂商来说，他们看到的结果，这股冲击带给他们的震撼是无与伦比的。

这就是罗晟的机会，也是国产半导体供应链的机会。

加之多年以来，罗晟在公开场合一直强调要与国际接轨，积极开放融入世界，要两条腿走路，既要自主研发，同时也要继续购买外国的高端芯片，保持与世界交流不中断。

所以，即便紫星光刻机问世了，国产半导体产业链打通了，还是会和外国的芯片厂商继续合作。

这都是以前说的明明白白的，那么现在蔚蓝海岸曝光紫星光刻机，再夸大其实的说已经打通了国产半导体产业链的关键技术环节，但我还是会继续和外国的厂商合作，你只要卖芯片给我，我就买。

国际竞争者也会相信他说的都是事实。

因为市场足够大，加上罗晟之前还说了有些钱明明自己可以赚，但是不赚，要留给别人赚。

真真假假、虚虚实实，国际上的那些厂商们都会不由自主的把这一系列问题串联起来进行综合分析，而得出的结果就是，自己的技术优势确实没了，再不放下高傲的头颅，钱都没得赚了。

想想大中华区市场每年芯片产业进口金额超3000亿美元的规模，以前是必须要进口，现在华国人自己可以解决了。

这对于海外的一些ICT领域的企业来说是灾难性的消息，尤其是硅谷的一些半导体企业，他们如果没了大中华区市场是会饿死的，肯定会有一大批半导体厂商破产倒闭，老牌大厂可以抗住但业务下滑也是必然。

所以他们不敢赌，因为输不起。

正因为如此罗晟才敢赌，而且有100%的把握会赢，既然100%的把握能赢，也就不能叫赌了，而是应该说运筹帷幄。

罗晟对姚建鸿说道：“老张，你派人去给紫星光刻机拍个宣传片，堂堂正正的把一些突破垄断封锁技术节点和成果亮出来，拍的漂亮一点，不过核心技术员都马赛克了，还有一些核心技术也都马赛克了，然后大肆宣传，紫星光刻机是绝地翻盘的一张王牌中的王牌，不夸张的说这对接下来的谈判有着决定性的因素，别搞砸了啊。”

“交给我好了。”

姚建鸿重重的点头，片刻，他忍不住拍了下自己的大腿，恶狠狠的道：“这下劳资在谈判桌上可以当着对方的面狠拍桌子他们也是敢怒不敢言了，我敢拍桌子走人对方不敢，我拍桌子走人对方就得求着我，攻守易型了。”

一手握技术，一手坐拥3000亿美元的大中华区市场，这底气之足是前所未有。

罗晟看到姚建鸿的这反应也不禁哑然失笑，非常理解他此刻的内心情绪，十多年前他从硅谷离职，放弃那边高薪而主动来到蔚蓝海岸求职，就是看到了国内有一家真正想要在集成电路领域大展拳脚的科技公司，那时候公司才刚刚起步没多久。

对于蔚蓝海岸来说，这口气憋了十一年了，而对于姚建鸿个人来说，这口气他憋了二十多年了。

……

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