第578章【“紫星”极紫外光刻机】

6月15日一早，罗晟来到了蔚蓝海岸实验室，今年下半年对于他来说最振奋的消息便是可量产的EUV极紫外光刻机样机要在这段时间问世了。

早上8点左右，罗晟来到了蔚蓝海岸实验室的一座22580平方米的无尘工作室内，里面的人全都穿着无尘服才能进入。

此刻，室内有着一百多个技术人员，都是清一色的顶尖工程师，超过三分之二的人都是来自国内精密制造领域各大公司的技术大拿。

罗晟通过晟峰资本为纽带，以光刻机为核心把这股力量于五年前柔和在一起对一个目标发起了长达五年的攻坚战，这集体一死磕就是长达五年的时间。

如果没有晟峰资本的资金扶持，没有蔚蓝海岸的技术支持，这个团队就不可能成型，更不可能一起死磕一个技术节点。

“罗总来了！”

“罗总。”

“罗总早啊。”

众人看到或听到这话都停止了交流，纷纷看向了出现在这里的罗晟，所有人都对他尊敬有加。

光刻机模块太复杂了，精密部件多达数万个，这意味着需要一个庞大的产业链协同，还得需要资本的长期供养并承担可能血本无归的风险。

这几乎是不可能做到的事情，但罗晟却让所有专注于这个领域想要成就一番事业，打破ASML垄断的人看到了希望，如今更是未来可期。

其实在2006年的时候就诞生了全球首台EUV光刻机原型，由ASML推出的，2010年又造出了第一台研发用样机NXE3100，这一年也是罗晟发起国产EUV光刻机研发的元年，从这一年开始死磕这个技术痛点。

而今年，根据外媒消息的报道，ASML在今年也即是2015年也终于造出了可量产的样机，在这个研发过程中，英特尔、三星、抬积电这些半导体大厂的输血绝对不少的。

但是，国产EUV光刻机的研发，在输血这个问题上，几乎就是靠罗晟一人供养着，仅凭这份魄力就没有第二个人敢这么干，因为投入的资金是天量的。

众人给罗晟让开了一条道，他来到了一个透明玻璃隔离墙站着，望着隔离墙内部的景象，此刻一台精密

的设备正在数十个工作人员的操作下进行模块化组装。

“这尺寸间的艺术就是对资本最好的赞美，不枉费我耗时五年烧掉了6000多亿人民币进去。”罗晟望着内部的景象喃喃自语的说道，光刻机设备的开发进度他还是颇为满意的。

这五年来，为了打造国产EUV极紫外光刻机设备，每年都要投入200亿美元进去，迄今为止大约1000亿美元，这笔钱的出资方是蔚蓝海岸和晟峰资本，除此之外没有第三方了。

罗晟出钱出技术，其它友商伙伴根据自己所处的领域分到一笔投资资金和相关技术开始围绕这条产业链死磕，能加入这支队伍的企业，基本都是干实事的。

当然，也有骗钱的，五年来有十多家厂商骗了罗晟好几十美元，这些钱算是彻底打水漂了，但这些厂商也被踢出了局，还有人被判了刑。

这样的风险在罗晟的可接受范围内，他也不会真的指望队伍里就一个坏人都没有，有坏人不怕，怕是有坏人没有找出来，不过现在的队伍是干净的了。

他们也许都有自己的小九九，罗晟不指望他们有为事业无私献身的崇高理想，这也是不现实的乌托邦想法。

但没关系，拿市场以及共同的利益维系着就行了，拿到了既得利益就会为这份利益尽心尽力。

在场的一位来自友商的技术负责人走到罗晟旁边，“罗先生，光刻机的主要性能指标，支持基片的尺寸范围、分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等技术痛点目前都已经解决了。”

罗晟点点头，问道：“光源系统方面的技术问题呢？”

对方立即回道：“也基本解决了。”

罗晟：“基本？那就是还没完全解决了，尽快解决。”

值得一提的是，EUV光源系统的组成，光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成，相关的工作元器件主要包括大功率CO2、激光器、多层涂层镜、负载、光收集器、掩膜版、投影光学系形成等离子体，等离子利用多层膜反射镜多次反射净化能谱，从而获得13.5纳米的EUV光。

仅仅是这么一个光源的问题就要牵涉到了十

多家厂商来研发配套，足见这玩意制造难度之高了，仅仅是砸足够的钱还是次要的，技术更是重要，国内相关的厂商实际上又没有核心科技。

但好在罗晟自己掌握的技术再通过小娜的针对EUV光刻机的补全模拟获得了相应的技术，然后把技术分发给各大厂商按标准制造，同时也把技术授权给他们。

正因为技术授权这一点，才能把各大厂商维系在一起。

靠觉悟和理想？

罗晟虽然喜欢这么说，但他从来不会去这么做。

否则这么复杂的链条，一旦某个环节的厂商闹情绪大家都干瞪眼，这是罗晟不能允许的发生的事情，投入的资金成本、时间成本、沉没成本都是天文数字，必须要给他们一点掣肘，否则队伍就不好带了。

关于极紫外光刻机的命名早已经被确定了，代号“紫星光刻机”，这也是国产自主研发不依靠国外技术当时的最先进的光刻机设备。

紫星光刻机的问世，将宣告着国产光刻机设备与ASML旗下的EUV光刻机处于同一梯队，彻底打破了顶尖光刻机设备被外国人垄断的局面。

罗晟收回目光看向在场的各大厂商派来协同的技术大拿们说道：“紫星光刻机可以使用波长13.5纳米的极紫外光，从而实现14纳米、10纳米、和7纳米制程的芯片生产，而通过技术迭代升级，未来也可以实现9纳米、8纳米、6纳米、5纳米、4纳米乃至3纳米等制程的芯片生产。”

“技术升级方案蔚蓝海岸实验室一直在做，升级迭代必须是协同的，有需要的时候各大供应链伙伴来我这里要技术授权分发即可，诸位回去之后顺带把话带给你们的老总，我就不跟他们一一联系了。”

众人都连连点头，这种模式简单的说研发尤其理论端，蔚蓝海岸实验室在做这些。

供应链伙伴负责把罗晟的想法实现，就是把实物按标准造出来，这没有谁更难一说，都很难，只不过创造性相对难一点。

要知道，把这些技术交给隔壁的三哥，让他们照着抄也搞不定，把东西按标准造出实物设备也是要有底子才行，这是制造业的底子。

……

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