第二百七十一章 成功了！光刻工厂实现了！

3纳米极紫外光？

检测光束设备给出的数据反馈让所有人大吃一惊，3纳米的极紫外光束，这岂不是说他们即将具备制造3纳米芯片的条件？

众所周知，在不考虑《多重曝光技术》的情况下，想要刻出几纳米级的芯片，就要先制造出多少纳米的紫外光光源。

193纳米的深紫外光还好说，大自然里面也能找得到，但13.5纳米及以下的极紫外光，那就必须由人为创造。

深紫外光和极紫外光，和分别对应了DUV光刻机和EUV光刻机，后者现在还处于禁止出口龙国的设备清单里面。

一旦这束光源被证实，确实是可以运用于光刻的极紫外光，那么整个芯片行业都将被颠覆。

“真是3纳米吗？”

夏扬神色激动，向前一步。

他大学虽然学的不是半导体，但这并不代表他不懂芯片制造。

想要光刻14纳米芯片，就要制造13.5纳米波长的极紫外光，这在各种半导体咨询媒体铺天盖地宣传下，早已经人尽皆知。

3纳米波长？

岂不是能刻3纳米芯片？

雷兵也忍不住上前一步，询问道：“这束光能用吗？如果能用是不是意味着我们能造3纳米芯片了？”

现在主流芯片是14纳米，无论是龙兴科技的SOC上帝芯片，还是苹果公司的A9s仿生芯片，亦或者说是髙通公司刚刚推出的骁龙821芯片，它们都是14纳米制程，根本够不着3纳米的边边。

要是真能造3纳米芯片，那可不是小小的科技震撼，而是向整个半导体芯片行业扔了个蘑菇弹，要颠覆整个行业的事情了。

“不能这样说。”

陈星从震撼中回过神，给雷兵与夏扬讲解道：“具备光源还不够，如果真要造3纳米芯片，我们还要经历芯片设计与研制光刻胶。”

在半导体领域，可不仅仅光刻机和紫外光有纳米等级，光刻胶同样有纳米等级区分。

像目前龙兴化工研制的1号光刻胶，它的曝光波长就在193纳米，最高支持7纳米芯片制造，这还是有多重曝光技术加持的情况下。

想要制造出3纳米芯片，3纳米极紫外光、3纳米芯片电路设计、3纳米曝光波长光刻胶缺一不可，这也是为什么，芯片纳米等级推进缓慢的原因。

每推进一步，都需要各行业跟进，一旦说光刻胶不行，那有极紫外光和电路设计图也没用。

正因为技术门槛高，大洋彼岸才能用芯片做文章。

“总裁说得没错。”林天也给予了肯定，他回头看向两位局长道：“现在说3纳米芯片还为时过早，不过我们可以先试试这13.5纳米波长的极紫外光，看看它能不能满足芯片生产需求。”

“这句话在理。”

“确实是我们操之过急了。”

雷兵和夏扬点了点头。

他们属于是懂一点，但并不知道半导体芯片领域可不仅仅只有极紫外光，还有N多的细枝末节，只有全部攻克才能造出芯片。

“趁着天没亮，我们尽快测试光束的可行性吧。”陈星提醒一句。

他们现在可是关了全深城的电力供应，哪怕是凌晨4点钟，但依然会对城市造成影响。

“我马上操作。”

林天点了点头回应道。

刚说完，他立马看向设备操控台，开始输入指令，时不时还跑到一侧去操作。

光刻工厂不同于光刻机，它更像是一条完整的自动化流水线，只需要装填半导体硅片以及光刻胶与配套试剂，输入指令后就可以进行自动化生产。

林天在检验了十几束13.5纳米波长的极紫外光后，也发现了单色性最好的一条光束，将它设定为1号光刻区域。

又经过了十分钟的参数调试，排除外故障情况，林天输入了确定工作的指令。

下一秒。

运输装置自动取片。

存放在特定区域的半导体硅片被静电吸盘吸起，运送到清洗区域，洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。

在清洗完成以后，半导体硅片会通过特殊运输通道，运往下一個步骤进行烘烤，待半导体硅片彻底干燥将继续运往下一个步骤，涂抹光刻胶。

自动取片。

自动清洗。

自动涂胶。

自动光刻。

这就是光刻工厂，亦或者说光刻全自动工厂。

两块光掩膜版已经重叠，他们在特定

这也是为什么第一期的光刻工厂只有5000平的原因，因为建造太大也没用，像静电吸盘和各类自动化运输的设备，都是需要定制化购买的，关键有些设备国内还没有，比如静电吸盘设备。

第一期相当于测试，等测试通过就可以扩建二期、三期甚至是第四期的光刻工厂。

当然了。

前提是可以能光刻成功。

“我们没有单独完整的SOC上帝芯片光掩膜版，只能用两块阴阳掩膜版堆叠在一块形成完整图案，这又会出现个问题。”

林天喃喃自语。

像似给陈星几人解释，又像似说给自己听。

“那就是两块光掩膜版堆叠，两块透明基板会削弱极紫外光能量，导致光刻失败。”

“为了解决这个问题，我加大了粒子加速器的功率，让电子运动的速度再次增加。”

“理论上来说，运行功率的加大，会同步放大电子运动的速度，电子在环形存储器的速度越快，辐射出的极紫外光能量就越强，但我并不能确定这个数值是不是正确的，只能说理论可行。”

光刻工厂没有人测试过，谁也不知道行不行。

现在又因为光掩膜版限制，林天只能加大功率，这给测试又增添了不小的难度。

“试试就知道了。”

陈星默默举起手机拍摄。

虽然他们在操控室，但面前的屏幕有显示洁净室的画面，根本不需要亲自前往。

林天微微颔首，没有说话，他双眸注视着监控画面，神色也显得格外紧张。

烘干冷却，涂满光刻胶的半导体硅片已经被运往了光刻区域，只剩下最后的光刻步骤。

随着透镜组移动到指定位置，13.5纳米波长的极紫外光发生了折射，精准地照射在两块图案互补的光掩膜版上，而光掩膜版上面的完整图案被照射后，最终落到待曝光的半导体硅片表面。

“滋——”

ArF光刻胶遇到光源，内部开始发生化学反应。

而ArF光刻胶又分正胶和反胶，这次曝光用的是正胶，被曝光区域的光刻胶会发生化学反应，没曝光区域则不受到影响。

一块区域被曝光后，透镜组立马移动，侧开照射光源，待移动平台调整后继续移回正位，对下一个区域进行光刻曝光。

12寸半导体硅片，大概能产出232块1.6×1.6的成品裸片，也就是说需要曝光232次。

目前来说，曝光一次的速度大概在1秒，这就需要232秒，也就是差不多4分钟才能把一张半导体硅片全部曝光完成。

虽然这个速度相比较于光刻机慢了差不多一倍，可光刻工厂毕竟是国产自研，而且是第一代产物，后续透镜组和移动平台还能继续优化，追赶上光刻机的光刻速度不是不可能的。

在等待了四分钟后，林天看向陈星等人解释道：“考虑到两块光掩膜版的能量消耗，我们先不急着拿去显影，让半导体硅片再次加热，加剧光刻胶的化学反应。”

陈星、雷兵、夏扬微微颔首，都在等待着结果。

现在这里陈星算半个门外汉，雷兵、夏扬则是都是门外汉，只能听林天安排。

他别说拿去烤了，哪怕是烧，他们也会觉得很合理。

随着林天输入指令，本该送去显影的半导体硅片被传送去了烘烤区域，进行二次加热，加剧ArF光刻胶内部的化学反应。

当这步完成以后，半导体硅片再次被运输，它来到了显影区域。

先用去离子水润湿硅片，紧接着把硅片放在显影平台，上方的机器设备喷出显影液，均匀地撒在半导体硅片表面，进一步溶解被曝光的部分区域。

随着这个步骤完成，半导体硅片表面已经清晰可见电路图案，只差最后的冲洗，将未曝光部分黏着的光刻胶全部清洗掉。

“我好像看见图案了。”

雷兵瞪大双眼，不敢错过任何一丝的细节。

“我也看见了。”夏扬附和道。

刚才半导体硅片清洗拿出时，可以清晰看见硅片表

面密密麻麻的电路图案。

“有电路图案是好事，但还需要经过电路测试才能知道芯片能不能正常运行。”

陈星讲解道。

经过了开天芯片、轻舟芯片、SOC上帝芯片多次耳濡目染，他已经算半个行内人了。

曝光、蚀刻、显影、清洗他都略懂一二，当然了，只是略懂，还停留在理论知识层面。

不过纵使是这样，雷兵还是忍不住竖起拇指称赞道：“想不到陈总不仅在商业领域有所建树，原来在芯片领域也有自己独到的见解。”

“确实想不到。”

夏扬也附和一声。

本以为陈星什么也不懂，没想到人家出口成章，这让他们都感到了一丝意外。

听着两人称赞，陈星也几位谦虚道：“不算是见解，只是耳濡目染多了记下的知识点。”

“能记下也是个本事。”

雷兵笑道。

夏扬也点了点头，附和道：“没错，记忆力不好的想记也记不住，陈总能记住这些流程，足以见得龙兴科技深耕芯片的赤子之心。”

在两人一唱一和拍陈星马屁的同时，全自动化的生产线已经把显影后的半导体硅片送去切片，进行最终电路测试。

林天看着“检测中”的提示，看向陈星说道：“如果可以通过，二期光刻工厂就可以开工了，不过能源还是个问题…”

他目光看向夏扬。

后者立马会意，连忙说道：“陈总、林首席你们放心好了，只要证实光刻工厂可行，天一亮我就回去召开市级会议，主题就是建设你们的能源输送通道。”

“没错。”

雷兵附和一句，继续说道：“别的地方不敢保证，但在深城，夏局还是可以说上两句话的。”

“包在我身上。”

夏扬拍了拍胸口。

他们都是混体制的，当然明白国家目前的主推方向。

要是能协助龙兴科技完成光刻工厂的建设，那他们所有人说不定都可以往上走两步。

体制内，谁不想进步？

有进步的机会，他们可不会放过，更何况是涉及“芯片”的。

“我先谢谢两位的好意，不过…”陈星犹豫了一会，还是决定说出宋卫国承诺的“东电南调”计划道：

“就如果说光刻工厂证实可以产出芯片，我希望深城电力局多建设抛狗岭地区的电力传输系统，保障电力输送，至于电力的话，奉天军区的宋首长说过，近期会有个东电南调文件下达。”

雷兵：“？？？”

夏扬：“！！！”

这句话说出那刻，雷兵满脑子都是问号。

奉天军区？

这不是隶属于北部战区的吗？

你陈星不和南部战区打交道，跑去北部战区了？

身旁的夏扬则是惊讶到懵逼，东电南调文件，这不是刚刚下达的全国性绝密文件吗？

难不成…

它是专门支撑光刻工厂的？？

想通了！

夏扬终于想通了！

他就说怎么这么奇怪，明明东部地区用的是国家电网，而深城用的是南方电网，怎么会突然输送电力过来，深城也不缺电啊。

原来是专门支持龙兴科技建设光刻工厂的，这也就是说，上边其实已经是知道的了。

“咕噜——”

夏扬咽了口唾沫。

他看向陈星的目光，已经带了几分敬畏，这个不到三十的青年掌握的能量超乎了他的想象。

如果可以的话，他真想在陈星耳畔轻声说一句：“陈总，我夏扬太想进步了。”

就在雷兵和夏扬内心掀起惊涛骇浪，震惊到大脑空白时，林天突然打断了他们道：“裸片电路的检测结果出来了。”

陈星：“！！！”

雷兵：“！！！”

夏扬：“！！！”

三人立马侧目，顺着林天目光注视的方向看去，上面赫然写着“电路未检测出异常”八个大字，最左侧的屏幕，还有SOC上帝芯片的全部数据参数，包括纳米等级，微架构与运行功率。

在一一进行比对后，林天神色激动地看向陈星等人宣布道：“成功了！光刻工厂实现了！”

(本章完)