第二百四十七章 再来一次舌战群儒？

几天之后。

由林晓发起的华芯盟内部会议即将召开。

作为华芯盟的理事会主席兼首席科学家，林晓如果有重要的事情，是完全有权力召开这场会议的。

当然，这次参加会议的人也很全，基本上是有时间来参加的都来参加了，华芯盟中的各个机构、企业等，都派人来参加了。

无他，他们的行业刚刚再次遭受国外的一次打击，虽然仅仅只是对光源以及光掩膜版的打击，但是却依然让所有人都感到了一种唇亡齿寒的感觉。

一个是光刻机重要部件，一个是光刻的重要耗材，特别是光掩膜版，更是特别重要，毕竟，光刻机的全名，就是叫做掩膜对准曝光机，掩膜版在其中占据着核心地位，而现在他们国内做不成掩膜版了，以后掩膜版都只能找国外进口，虽然说以前也基本上都是这样，但是国内损失的份额，却是实实在在的，等于说，钱都是让国外给赚了。

所以，这样一场会议，就给了他们一个倾诉的地方，寻求一种来自盟友给予的安心。

会议室中，已经坐了几十个人，这些人大多都带着愁容，特别是那些原来能够生产光掩膜版的，更是一脸悲伤，而全场中大概唯一显得有些高兴的，就是光电所的罗刚宪院士了，当然，过来参加会议的上硅产业总经理余建成也没有发愁，毕竟他们也不用担心被制裁，核心技术是自己的，当然没必要担心。

不过，他们两个人这么轻松的样子，还是吸引了其他人的注意。

“罗院士，真羡慕你们光电所。”

坐在罗刚宪旁边的人忍不住说道，这位是常春光机所的院士，叫王军。

“有什么羡慕的？”

罗刚宪摊了摊手，笑呵呵地说道：“大家都是在为国家办事的，没什么羡慕不羡慕的。”

王军说道：“你们的抛光技术啊，你们现在可都能够和蔡司公司相提并论了，牛逼的啊。”

“害，都是林晓教授的功劳，我可是没有提供半点作用。”罗刚宪摇摇头，说道：“最关键的是，以前我还算是凭借经验，能够称为国内顶尖的抛光大师吧，结果现在林教授就随便搞了一个理论，我的经验什么的就没有用武之地了，那离子束直接指哪打哪，压根不用我的判断了。”

说到这，罗刚宪又道：“当然，最关键的还是林晓教授的八分结构编码器，没有这个东西的话，精度更不上去，我们也没辙，不过说到这，你们光机所怕是更应该感谢林晓教授吧？如果没有林晓教授，你们的伺服电机恐怕都完全还是个问题吧？”

“说的是啊，但正因为这个原因，我们更希望能够得到林晓教授的帮助嘛。”王军摊了摊手说道：“我是搞半导体高功率激光技术的，现在他们在光源上对我们限制了，我们现在实验室都只能拿以前的东西研究了，我们现在实验的euv光源功率才不到40w呢，现在准分子激光器又给限制了，现在又要从头研究准分子激光器，唉，难啊。”

“呵呵，说不定这次林教授找我们开会，就是打算解决这个问题呢？毕竟他两个周前找我们开会的时候，刚好是国外宣布加大制裁的时候嘛。”

“希望吧。”

王军摇摇头。

就在这个时候，门口进来了几个人，其中为首的，便是林晓。

林晓进入会议室后，便来到了首位上，说道：“让各位久等了，既然基本上都到了，那废话咱们不多说，本次内部会议正式开始，这次也算是我第一次召开这次内部会议。”

他微微一笑，随后说道：“那么这场会议，主要讨论的就是，在新制裁下，我们未来的半导体发展方向。”

听到林晓的话，在场的人都眼前一亮，立马认真了起来，对于在场的人来说，此时就需要一个主心骨，让他们看到成功的希望。

见到在场人们的反应，林晓笑了笑，而后也没有什么犹豫，直接给他们下了猛料：“我认为我们应该放弃euv光刻机这条路。”

刚刚还无比期待的在场众人，听到这个消息顿时就惊呆了。

啥？

放

弃euv光刻机这条路？

您这是要破罐子破摔了吗？

在场的人无法理解林晓的这个决定。

有一位比较年老，看起来资历也比较高的业内人士立马表示了疑问：“林教授，对你的建议，我不反对，但是euv光刻这条路已经可以证明是对的了，如果我们放弃的话，我们该往哪个方面发展？”

其他人也点点头，有人也说道：“总不能不搞芯片了吧？或者去搞碳基芯片？也没人说碳基芯片不要光刻机啊！”

“除非我们能搞出两位数的纳米级别打印技术，不然的话只能搞减材制造，不能搞增材制造，芯片这些都可以实现。”

在场的人基本都是科学家，都对这些技术问题有很多的认识，就比如碳基芯片。

所谓碳基芯片能够绕开光刻机，其实只是自媒体吹出来的，随便找个研究研究光刻机技术的学生，都会知道碳基芯片并非不如硅基芯片，也从来没有科学家表明不需要光刻机，碳基芯片的主要优势，还是在于碳基材料相对于硅基材料的优势，同规格的碳基芯片性能能够远超硅基材料，大概能够提高5-10倍，而功耗也能降低到原来的十分之一。

功耗问题是芯片界的一个关键问题，如何破解低制程芯片的高功耗问题，是一个十分关键的问题，这是限制芯片发展的最主要问题，就比如阿法狗和围棋冠军们下棋时，阿法狗的功耗可是高大20000w，这么高的功耗，都是为芯片运算供应的。

所以碳基芯片好，但是如何制备，仍然有着很多的问题。

至于3d打印技术，想要通过这种增材制造的方式制造芯片，那就更加不可能了，那至少还得经过很多年的发展，才能做到两位数纳米级别，现在的精度，也就仅限于微米级。

所以在场的人对于林晓要放弃euv光刻这条路，产生了如此巨大的反响。

而林晓看着眼前这些专家们如此样子，却只是微微一笑。

看来又要来一场舌战群儒了。

当然，来就来吧。

而后，他开口道：“各位，你们所说的难点我都知道，当然，我也从来没说过要去搞碳基芯片，或者说是搞什么原子打印技术。”

“但是实现弯道超车，是我们必须考虑的一个方向。”

说到这，他顿了顿，说道：“国外长期占据着euv、duv光刻领域，对我们实行各种制裁，而他们又仗着手中有专利，对我们实行着各种各样的打压，而我们想要在这条直线上奋起直追，赶上他们，充满了艰难。”

“而且，就像有一句话说得好，直线谁不会加速啊？弯道快，才是真的快。”

“所以，我们在直线发力的同时，国外同样也在沿着这条直线发力着，那我们就不能放弃弯道超车的机会，至少在弯道上，国外领先我们的不是很多，但要是我们在弯道上也让国外给超过去了，未来，我们又得落后不知道多少年。”

听着林晓的话，在场的人都默默点点头。

对林晓的话，他们都十分的赞成。

落后的，就始终落后了，真想要实现追赶，很难很难，虽然有盾构机的例子在前，但是这样的例子却还是太少了。

所以他们只有寻找技术的弯道，才能实现追赶乃至超越。

“林教授，你说吧，你想搞的是什么？”

有人举手说道。

其他人也纷纷看向林晓，只要合理，他们都愿意努努力。

林晓一笑，说道：“我想搞的是，一个已经存在，只不过过去一直被我们所忽视的光刻工艺技术。”

“x光刻！”

底下的人顿时一片浮动，人们的脸上都露出了惊讶的表情。

林晓知道他们想说什么，x光作为光源的优缺点，在场的人都是行业内的人，当然都知道。

而后，林晓只是压了压手，让他们都安静下来，而后说道：“x光刻机的优缺点我们都清楚，优点，准直性好，没有衍射效应，不用担心光源功率的问题，不需要掩膜版，缺点，穿透性太强，不能用来大规模生产

，导致其经济效益比较差。”

“所以，我们现在所需要解决的就是，大规模生产问题。”

“而关于大规模生产问题，我已经有了一个可行的方案。”

听到林晓这么说，在场的人顿时都是一愣。

用x光实现大规模生产？

要怎么做？

“我的方案就是，利用晶体x光衍射效应，实现对x光的放大和缩小。”

林晓刚说完，又立马伸出手压了压，因为他也清楚，自己说出这句话后又会给在场的人带来多大的惊讶，事实上在场的人们也确实因为他的话，而在一次躁动了起来。

好家伙，你都说了x光的优势是没有衍射效应，结果你现在又要让人家衍射？

虽然如果真的能够实现对x光的放大和缩小，那确实有很大的帮助，甚至他们原地就能给你造出个光刻机出来，因为x光刻机能够摒弃euv光刻机中许多需要攻克的难题，以最简单的方式来实现，尤其是他们现在有了更加精密的伺服电机，在机械精度上也跟上了国外。

但是，问题就是你要如何实现？

林晓这次没有说话了，而是拿出电脑，开始给在场的人们展示他的ppt。

“控制x光的衍射，就需要我们控制衍射，也就意味着我们要寻找衍射的规律，那么，接下来我们就要涉及到量子力学中的理论了。”

说到这，林晓起身，来到了投影屏幕边，开口道：“可能要涉及到一点学术的话语，大家请谅解。”

“根据惠根斯-菲涅尔原理，我们可以正确地解释与计算波的传播，而惠根斯-菲涅尔原理，则可以视为空间的各向同性的后果，而量子电动力学中，空间的各向同性是其关键基础。”

【dψ(r)=-ψ0e^(ikr′)k(x)ds/λrr′……】

“所以，我们可以从这一步入手。”

……

底下的绝大多数人都呆住了。

怎么一言不合，就给他们上起了课啊？

在场的人，此时人都傻了。

这里有很多科学家，但并不是每个科学家都懂量子力学。

就更不用说量子电动力学了。

比如余建成，他只是一个总经理而已，以前也是学材料的，哪懂这些东西啊？

光是看到前面几个公式，他就感到了一种回到了大学时代被物理、数学所支配的感觉。

最后，他放弃了，转头看向旁边的同僚，不知道啥时候已经拿出了手机，打起了麻将，牌面似乎还挺不错，要十三幺的节奏。

余建成拍了拍自己的脑袋，想什么呢，他开口道：“你不看林教授讲的东西吗？”

“你看得懂？”这人反问一句。

“呃，看不懂。”余建成摊手，又问道：“林教授不是说涉及一点学术语言吗？我怎么感觉他说的都是学术语言？”

“什么一点，明显是亿点，一万乘一万的那个亿。”

余建成：“……”

当然，在场中的人也还是有能够理解的科学家的，尤其是在场研究光学的专家很多，比如那位常春光机所的王军院士，他研究的也是光学的东西，对衍射干涉什么的都听得懂。

他凝着眉头，听着林晓的讲述，林晓的论证深入浅出，虽然涉及到了量子力学的内容，更是包括了量子电动力学，不过这些他都有些研究。

唯一让他感到有些复杂的就是林晓在计算中得到的那些公式。

他的数学能力虽然比起其他人来说要厉害不少，但是相对于林晓来说，显然就不行了，甚至可以说弱。

当然，所幸的是林晓对于他的那些公式什么的都进行了一个完整的讲述，没有直接用“显而易见”、“众所周知”等这类词语直接跳过。

所以，王军只要跟上思路，还是能听懂的。

而随着林晓讲得越来越深入，他的目光中就陡然亮了起来。

似乎，这真的是能够解释衍射本质的方法？！

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