第1609章 这位常院士未免太过激进了

三天后，火炬实验室，地下测试中心。

常浩南刚踏进大门，就看见栗亚波正指挥着几名工程师，在中央区域紧张地搭建着一个结构复杂的光学平台。

空气中弥漫着全新设备特有的正己烷气味，一系列精密元件在灯光下下反射着冷冽的光泽。

“老师，您回来了！”栗亚波抬头看见常浩南，立刻停下手中的活计迎了上来。

双眼有神，明显精神头不错——

制定实验方案还有设备搭建都属于慢工出细活，犯不上每天熬夜加班。

“大部分分辨率测试需要的硬件都到了，气浮隔振台、高精度位移台、光束整形器、旋转毛玻璃、ND滤光片……”

还没等常浩南主动开口询问进度，他就指着平台上一件件昂贵的设备快速汇报：

“还有那个USAF 1951分辨率靶标，11组3元素规格的，这东西虽然是标准件但用的人太少找不着现货，还是加急空运到的……”

“现在正在调试光束准直和均匀性，预计还需要两天时间才能完全准备好……”

“……”

一个星期的工作，足足十来分钟才介绍完。

设备到位，只是准备工作的开始，而不是结束。

“辛苦了。”常浩南的目光扫过正在搭建的平台，微微颔首，“分辨率测试不急这一两天，按计划稳步推进就好，确保系统稳定可靠。”

随后，他话锋一转，语气变得更为明确：

“不过，你现在需要优先准备另一次性能展示，明天上午，会有两位非常重要的合作者到访。”

栗亚波立刻领会：“还是用那个‘双负折射平板透镜’做基础演示？”

“对。”常浩南点头，“来的都是内行，看一眼光路就能知道怎么回事。”

“明白！”栗亚波神情一肃，“我马上重新检查一遍演示系统，保证不出纰漏。”

他知道，能让老师如此重视，那这“合作者”的身份和分量都必定非同小可。

……

翌日清晨，火炬实验室主楼。

常浩南亲自来到门口迎接。

一辆中巴车的侧门打开，吴明翰院士率先下车。

紧随其后的是一位身材不高、但眼神锐利的中年人。

还亲自提着一个看起来相当沉重、带有物理锁的黑色合金手提箱。

“常院士！”吴明翰快走两步，热情地与常浩南握手。

随即侧身介绍：“这位就是长光集团的张汝宁张研究员，ArF系列光刻机物镜系统的研发负责人。”

“张研究员，欢迎！”常浩南伸出手，“久仰大名，我是常浩南。”

张汝宁把手提箱换到左手，然后才伸出右手相握：

“常院士客气了，久仰大名这话，应该我来说才对。”

说话间，一众随行人员也陆续下车，分列在略靠后几步的位置。

三人一边寒暄，一边进门乘上电梯，来到了位于顶层的会议室。

坐定之后，张汝宁没有任何多余的客套，直入主题。

“常院士，吴院士之前转达了您的需求。”他拍了拍手中的合金箱，发出沉闷的声响，“这次，我把压箱底的东西带来了。”

他说着向身后示意了一下，助手见状立即上前，将一柄钥匙交到张汝宁手中。

“咔哒”一声，金属箱打开。

里面是几块用防震材料包裹得严严实实的硬盘。

以及一个厚厚的、封面印着“绝密”字样的文件袋。

“这是我们长光为下一代国产ArF浸没式光刻机‘ArF-1800’项目准备的几种核心折反式物镜组设计方案。”

张汝宁的语气带着淡淡的自豪，同时还有几分庄重。

坐在常浩南另一边的吴明翰适时开口道：

“虽然目前还处于方案论证阶段，尚未最终确定采用哪种设计路线，但毫不夸张地说老张的方案，就代表了国内光刻物镜设计的最顶尖水平。”

张汝宁闻言笑了笑。

但这一次却并未出言自谦。

而是半开玩笑半认真地说道：

“常院士，如果不是火炬实验室的名头，加上您亲自开口，那这些东西，是绝对不可能带出长光大门的。”

在这种场合下，需要对自己的成果表现出一些自信。

再者，过分的谦虚，也是对其它项目参与者的不尊重。

紧接着，他的语气又恢复严肃：“另外，虽然是带出来了，但根据规定，不能复制，不能拍照，演示交流结束后，我必须原样带回。”

大家都是体制内的技术人员，自然知道规矩。

常浩南也看得出对方的重视程度已经拉满，也赶紧配合地接了一句：

“我代表火炬实验室，对张研究员，以及长光集团的诚意表示感谢！”

“好！”张汝宁点点头，神情放松下来。

然后示意助手将其中一块硬盘连接到会议室的专用电脑上：

“那我们就开始？您这边的新理念，或许可以和我们这几个方案交流碰撞一下。”

ArF-1800项目是长光的心血，对标的是ASML的NXT:2000i系列，属于当前DUV体系下的最顶级产品。

他也很想看看，对方能拿出什么新的理念来交流。

然而，常浩南却轻轻摆了摆手，示意那位助手先别动：

“张研究员，先不急着看资料。”

这个态度，让另外二人有些愕然。

“火炬实验室的新理念，是完全……颠覆性的。”常浩南解释道，“现有设计方案本身的参考价值恐怕有限，关键在于思路，包括折反式系统的设计方法，还有一些关键过程和数据。”

张汝宁脸上的笑容微微一滞，眼底掠过一丝难以察觉的讶异和……不服气。

参考价值有限？

他带来的可是对标国际顶级DUV光刻机的核心光学设计方案！

这位常院士的口气，未免太大了些。

不过，他倒也不至于表露出来，只是点了点头：“那我们就客随主便听常院士您安排就是。”

常浩南也看出了对方的小情绪，但只是起身，做了个请的手势：

“二位跟我来。”

张汝宁和吴明翰对视一眼，都看到了对方眼中的疑惑。

对方强调两个人，那意思当然是不能带随行人员。

好在这是国内，倒不用担心什么摔杯为号冲出五百刀斧手之类的剧情。

于是两人将随行人员留在会议室，只身跟随常浩南，深入到了火炬实验室的地下测试中心。

刚一踏进测试大厅，张汝宁的目光就被吸引住了。

“这是……蔡司最新的那台三坐标测量仪？精度能达到亚微米级了！”

他几乎不由自主地走向一台造型精密、闪烁着金属光泽的大型设备，如同看到稀世珍宝。

如果不是有一层窗户挡着，怕是要上手摸一摸。

“还有这台，同步辐射光源的小角散射装置……”

“Talysurf PRO+表面轮廓仪……”

“……”

张汝宁的语气充满惊叹。

“这些设备的投入，简直难以想象！”

他本人的课题组建立较早，不少设备已经并非最新型号。

而长光集团毕竟是个企业，要考虑投入产出比的问题，不可能无限制地追逐新款。

常浩南微微一笑，并未在此多作停留。

“张研究员见多识广。不过，今天的重点不是这些。”

他引着二人，径直走向测试中心一个相对僻静的角落。

那里摆放着一台看起来相当“朴素”的光路演示仪。

仪器主体就是一个带有精密位移台的黑色光学平台，上面固定着光源、几个调整架和一个观察端口。

平台旁边连接着控制电脑和显示器。

但此时正关着机。

栗亚波早已在此等候。

张汝宁快走几步，饶有兴致地凑近光路仪。

他本以为会看到一组结构复杂、镜片林立的实验性物镜原型。

然而，当他来到跟前时，却发现光学平台中央的调整架上，只固定着孤零零的一个光学元件。

一片厚度大约几个毫米的、长方形的……

镜片？

它被小心翼翼地夹持在一个特制的夹具中，表面平整如新。

但无论怎么看，这都只是一片平面镜而已。

“常院士，这是……”张汝宁疑惑地看向常浩南，又看看同样一脸茫然的吴明翰。

他完全无法理解，这片看似普通的平面镜，如何能与“颠覆性”的光刻物镜设计理念联系起来。

常浩南没有直接解释，只是对栗亚波点了点头：“亚波，开始吧。”

“是，老师。”

栗亚波早已做好设置，此时只需要按动一下启动按键即可。

嗡的一声轻响，一道稳定而纤细的绿色激光束亮起

与此同时，光路仪四周厚重的遮光罩缓缓升起、闭合，将整个平台笼罩在黑暗之中。

只有控制面板上几个微弱的指示灯亮着。

几秒钟后，栗亚波轻轻点头，让出了观察口的位置，示意准备就绪。

这个速度，快到如同儿戏。

吴明翰好奇心更重，率先将额头贴上观察口的目镜。

然后……

安静。

沉默。

直到几秒钟后。

“嘶——！”

一声极度压抑却又充满难以置信的抽气声，猛地从吴明翰喉咙里发出！

他整个人如同被电流击中，身体瞬间绷直，贴在目镜上的额头甚至微微后仰了一下，嘴巴张得老大。

仿佛看到了最不可思议的魔法！