第1604章 分辨率测试

十几分钟后，栗亚波跟随常浩南再次来到地下测试中心。

那块双负折射平板透镜被小心翼翼地安装在特制的保护平台上。

“老师，您说的那个重要猜想……具体是什么？”栗亚波忍不住问道。

常浩南没有直接回答，而是下令道：

“亚波，去准备几样东西。”

栗亚波几乎条件反射地掏出笔记本。

“一台波长632.8纳米的氦氖激光器，要功率稳定、模式纯净的；还有，”他顿了顿，加重了语气，“一块分辨率测试靶标，精度要求……至少包含11组第3元素或更高。”

栗亚波心头猛地一跳。

对方口中的分辨率测试靶标毫无疑问是指USAF 1951标准下的产品。

而11组3元素对应的线宽/间隙宽度是0.194微米。

这已经进入了亚微米尺度！

“分辨率测试？”

他立刻明白了常浩南的意图，但随即感到强烈的不可思议。

“老师，632.8nm是可见红光，理论分辨率极限大约在……316纳米左右，而我们这块透镜，”他指了指保护台上的晶片，“尺寸就这么大，等效数值孔径根本不可能很高……”

常浩南的神情却异常平静，仿佛栗亚波说的只是常识而非障碍。

“这正是我的猜想核心所在。”他解释道，“负折射率材料，它对电磁场的操控方式，从根本上有别于传统材料……可能不仅仅是‘弯曲’光线那么简单，有可能……改变局域场的分布模式。”

空气，一时间陷入沉默。

“总之，去准备吧。”大约半分钟后常浩南才继续道，“做过实验，就知道我的猜想是对是错了……理论是用来指导的，但最终，实验才是检验真理的唯一标准。”

栗亚波深吸一口气，迅速冷静下来，大脑也开始飞速运转，规划着实验方案。

“实验室本身有搭建光路系统的基准光学平台和标准件，但要进行高精度的成像分辨率测试，还需要一些辅助设备来保证光束质量、消除振动、精确对准和定量分析。”

他思索片刻开始在心中罗列清单：

“比如高精度的光束准直扩束系统、旋转毛玻璃散射器、可调中性密度滤光片、精密孔径光阑……最重要的是，整个系统必须搭建在顶级的气浮隔振光学平台上，还得有微米精度的多轴位移台，来微调样品和靶标的位置……”

“……”

“好在都是标准件，都可以买现成的。”栗亚波总结道，“加急的话大概一星期左右能到位。”

接着又补充了三个字：“就是贵。”

“这些都不是问题，”常浩南点点头，“需要采购或调拨的，列出清单，我下周要出席一个未来信息产业大会，正好等我开完会回来，看你的准备情况。”

他拍了拍栗亚波的肩膀，“我相信你能搭建出可靠的测试环境。”

“保证完成任务！”栗亚波挺直了背。

……

常浩南离开后，栗亚波立刻前往实验室设备处。

设备处主任谢熙森是一位面容和蔼但精打细算的中年人，看到栗亚波递过来的、密密麻麻列了二十几项设备的清单之后，眼睛瞬间就瞪圆了。

他接过清单，手指一行行划过，嘴里不由得发出“嘶……”的一声。

“栗教授，这才四月份不到啊……你这……今年烧掉的经费，都快奔着两个亿去了吧？”

谢熙森抬起头，半是认真半是开玩笑地看着栗亚波：

“现在又来这一大单，少说也得大几千万甚至上亿的预算。”

谢熙森的语气里带着设备管家特有的肉疼和对项目组花钱如流水的感慨。

他也是科学院国家重点实验室出身，然而来火炬实验室不到三年时间，签出去的经费比过去三十年加起来还高一个数量级。

栗亚波理解谢主任的“心痛”，但此刻他心中只有那个至关重要的实验，没有开玩笑的心情。

“谢主任，这是常院士点名要的设备，所有支出都可以走重大专项的经费渠道，优先保障，尽快到位。”他顿了顿，补充道，“常院士一周后就要看结果，时间很紧。”

听到“常院士亲自安排”、“重大专项核心”，谢熙森也瞬间换上了严肃认真的表情。

“明白了，清单给我，我亲自盯进度。”他不再多问，拿起清单，迅速坐到电脑前开始操作。

说归说闹归闹。

在火炬实验室，钱，基本不会是首要问题。

……

四天后京城会议中心。

华夏未来信息产业大会如期召开。

这种级别的会议大佬云集，很可能几句无心的谈话，就影响到未来几年内的行业走向。

因此，很多人都会提前到场，看能不能找到一些机会。

贵宾休息区内，几位国内信息产业头部企业的代表正围坐在一起，低声交谈。

轻松的氛围下，涌动的是对未来格局的深切关注和一丝不易察觉的焦虑。

“5G标准R12、R13的讨论白热化，我们几家在3GPP的话语权是提升了，但真正的较量还在后面。标准落地，终端、基站、核心网设备的规模部署才是硬仗。”

海森半导体的副总裁何鑫推了推眼镜，语气沉稳中带着紧迫。

“没错，”一位来自电信的高管接口道，“移动互联网的发展势头根本刹不住，用户对带宽、时延的要求是永无止境的。这直接引爆了对高性能、低功耗、高集成度芯片的饥渴需求。”

另外一人也表示赞同：

“未来几年，消费级芯片的出货量和产值，甚至有可能会超越工控领域，成为绝对主力……”

“……”

国内绝大多数消费电子领域的企业并没有标准制订权，也出席不了本次会议。

少数出席了的，这功夫也不在这个半导体领域的圈子里。

因此提到消费端的情况之后，气氛反而有些冷场。

最后还是何鑫接过了话茬：

“设计方面，我们有信心对标国际最前沿。但流片……很可能会遇到瓶颈。”他叹了口气，“我们跟几个主要供应商都接触过，但三星肯定优先供给自家，TSMC也有传统客户，都很直接地表示不太可能挤出太多产能。”

随后，又转向华芯国际技术总监吴明翰院士：“吴院士，现在的情况……华芯很可能成为胜负手。”

而吴明翰的表情也有几分无奈：

“我们目前的生产主力，一个是国产的SMEE ArF-1500，再一个就是ASML的NXT:1950i……但ArF1500受限于光源和物镜，目前还很难用于112.5nm以下的先进制程。”

他停顿了一下，语气更加低沉：

“至于NXT:1950i，主要是数量很少，而且交货周期也不太稳定……”

有人插进话来：

“1950i……我印象里是08年左右的型号了吧？”

吴明翰点头：

“这个序列里更新的型号是NXT:2000，当然还有最近几年才出的极紫外产品线，主要是NXE:3300B……都在采购谈判过程中，就是情况……老实说，不太乐观。”

听到最后四个字，众人全都内心一沉。

何鑫的语气严肃起来：“ASML不愿意出售？”

吴明翰摇了摇头，紧接着又点了点头：“荷兰人没明说，但基本就是这个意思……”

“NXT:2000i的谈判还在拉锯，价格、交货期、附加条件……对方咬得很死。至于3300B……”他露出苦笑，“别说谈价格了，我们的谈判团队连设备实物都还没被允许‘亲眼’看到过……”

能坐在这个地方的人，哪怕是全是搞技术的，也都有最基本的敏感性。

一股寒意悄然爬上脊背。

过去十几年里，尽管理论上的制裁仍然存在，但得益于和欧盟之间的关系，华夏基本可以采购到ASML最新，或者次新级别的产品。

现在ASML的态度发生180°转向，恐怕不会是，至少不只是荷兰人自己的意思。

何鑫张了张嘴，刚想再追问华芯国际在多重曝光技术上突破40nm甚至28nm制程的具体进展和良率情况，却忽然听到旁边传来一阵轻微却明显的骚动和惊讶的低语声。

他抬起头，循着众人的目光望向会场入口处。

只见门口站着一位身穿合体深色西装的男子，正背对着他们，看不清面孔。

但在那人对面站着的，却是今天的大会组织者，工建委主任栾文杰！

能让栾主任如此熟络、甚至带着几分亲近交谈的人，会是谁？

就在何鑫疑惑之际，门口那位男子似乎结束了谈话，微微侧身。

也因此而露出了侧脸。

“常浩南院士？！”

何鑫脱口而出，声音里充满了意外。

如今国产半导体行业的起步阶段，很大程度上依赖于早年间计算技术研究所以及曙光集团的资源倾斜。

这方面走在明面上的，是前曙光集团董事长、计算所所长李杰院士。

而稍微内部一些的人则会知道，常浩南也在其中发挥了重要作用。

因此何鑫一打眼就认了出来。

但还是有些惊讶。

他低头快速翻看手中的会议议程手册，从头到尾仔细找了一遍。

确实没有看到常浩南的名字。

“吴院士，议程上有常院士吗？”

“没有吧……”吴明翰也仔细回想了一下，然后更加笃定地回答道：“至少我拿到的议程里，没有常院士的报告安排。”